刻硅的话，按照你的预算，国产的尽量买北方微的。
东方中科是代理，SENTECH是德国刚刚做plasma设备的小公司，东方喜欢代理这类公司，但是都是业界不出名的公司，白老鼠的风险较大。
创世威纳基本不用考虑。小于一百万的预算的话，买他们的不如去买中科院微电子所的ICP。
还要看你刻硅要刻到多深，如果是那种要刻穿的，一般要用bosch工艺，设备都比较贵。最好的刻硅的设备是STPS，你这个预算不一定够。能支持国产就支持国产的吧，北方微算是最好的了，只要不是很特殊的应用，性能也不是太差。
68国产ICP刻蚀设备有哪个品牌好些？麻烦告诉我
Simone
发布于 2024-09-01 13:20:55
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