用聚焦方法得到很细的、功率密度为 10^6~10^8瓦/厘米的电子束周期地轰击材料表面的固定点,适当控制电子束轰击时间和休止时间的比例,可使被轰击处的材料迅速蒸发而避免周围材料的熔化,这样就可以实现电子束刻蚀、钻孔或切割。同电子束焊接相比,电了束刻蚀、钻孔、切割所用的电子束功率密度更大而作用时间较短。电子束可在厚度为0.1~6毫米的任何材料的薄片上钻直径为1至几百微米的孔,能获得很大的深度-孔径比,例如在厚度为 0.3毫米的宝石轴承上钻直径为25微米的孔。电子束还适合在薄片(例如燃气轮机叶片)上高速大量地钻孔。